本研究收集國外資料，並融合現行國內法規，擬定局部排氣裝置有效性之評估技術。本計畫依所蒐集之全部資料分析後，決定參考國外六種局部排氣裝置之有效性系統，針對局部排氣裝置設置前、設置後及性能維護等三方面建立本評估系統。本研究所完成之設置前、設置後與性能維護分別包含12、4和4大項有效性評估內容，及19、9和9項細部評估內容，並對每一細項擬定評估基準。前述評估系統初步完成後進行專家座談會，再依專家建議進行修正，及20家事業單位（十家高科技產業、十家傳統產業）現場訪視。結果顯示，本系統可適用於事業單位局部排氣裝置之有效性評估。本研究亦發現高科技廠商之局部排氣裝置管理狀況，較傳統產業廠商良好，但兩者均仍有很大改善空間。對於局部排氣裝置設置前方面，其共通問題為：(1) 局部排氣裝置設計者與監造人員均未受過訓練或非合格人員，(2) 大部分於設計前未蒐集人員操作模式及可能暴露途徑等資料，(3) 設計時未考量局部排氣系統平衡方面問題。相對於高科技產業，傳統產業則又存在：(1) 缺乏設計原則之概念，(2) 未考量機台與排氣裝置間連鎖設計，及(3) 未留存設計報告書等問題。對於局部排氣裝置設置後方面，高科技產業並未發現顯著問題，但傳統產業卻存在：(1) 性能驗收人員缺乏相關工作經驗，(2) 未進行性能驗收項目之測試，及(3) 未留存性能驗收報告書與操作手冊。在性能維護方面其共通問題為：未考量系統更改時性能維護計畫之因應策略。相對於高科技產業，傳統產業則又存在：(1) 缺乏完善之性能維護計畫，(2)未建立局部排氣裝置各單元之維護內容與方法，(3) 未定期實施檢查，(4) 未保存檢查記錄，及(5)管理人員未經訓練等問題。本研究亦完成「工業通風裝置性能有效性評估技術手冊」，以供事業單位參考，對於事業單位未來局部排氣裝置之設置及其性能維護應有所助益。